포토공정 Ⅱ

패터닝 불량과 해결책  (1) 2차원적 불량 ( 위에서 봤을 때 관찰가능한 불량 )      1) 종류     a) CD(Critical Dimension) 불량 : 패턴의 크기가 목표보다 크거나 작아지는 불량     b) LER(Line Edge Roughness) : 패터닝의 거칠기정도     c) LWR(Line Width Roughness) : 거친 패턴으로 인한 CD의 산포    2) LER,LWR의 해결책      a) 화학증폭형 PR에서 PEB를 통해 증폭 과정을 거침         --> 빛을 조금 받은 부분도 반응이 일어나게 유도        ∵ LER, LWR은 빛을 받는 양의 국부적 차이로 인해 발생     b) PR에 쬐는 빛의 양을 늘림     c) PR 물질의 빛 민감도가 높은 ..

2024.11.23